天準半導體紅外測量系統在全球處于頭部地位。系統將高性能紅外相機與設計優化的紅外光學結合，提供具備出色分辨率和對比度的圖像，實現基板的頂部、底部和內部結構的有效測量。
主要特點
設計優化的整套紅外光學系統，紅外波長最高支持1500nm
支持定制適用于不同產品的自動化搬運方案
可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
主要特點
支持定制適用于不同產品的自動化搬運方案
可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
長期維護成本低，穩定可靠
主要特點
全自動測量
可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
長期維護成本低，穩定可靠
