Array制程自動光學檢測設備
Array制程自動光學檢測設備采用天準自主開發Virgo軟件平臺和獨有平臺標定技術,適用于Array基板的全制程缺陷檢測,掃描速度快,成像精度高(檢測精度1.0μm/1.5μm可切換)。
品控難點

前段制程是顯示面板制造過程中重要環節,Array面板制程利用AOI檢測技術監控制造過程的外觀缺陷,其檢測精度和效率對產品良率和成本產生重要的影響。外圍電路、不規則區域的檢測困難,成為各顯示工廠Array段品控的難點。

設備優勢

天準獨有的標定平臺技術支持圖像更好拼接,實現分區域檢測,對AA區采用周期對比的方式,對外圍區域采用 Panel to Panel 對比方式

天準自主開發的Virgo軟件平臺支持矩形、圓形、半圓形等異形Map建立

檢測精度1.0μm / 1.5μm可切換

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